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量测	1	尺寸(常规尺寸)	个	4	4	Y	ASME_Y14.5-2009	接触式三次元& 非接触式三次元	HEXAGON& Mitutoyo	Global Image 7107& Quick Vision PRO Super (606)	温度范围: 17℃~23℃ 接触式三次元范围: 700*1000*700mm(W*D*H)； 非接触式三次元范围: 600*600*100mm(W*D*H)；
	2	尺寸(形位公差)	个	11	11	Y	ASME_Y14.5-2009	接触式三次元& 非接触式三次元	HEXAGON& Mitutoyo	Global Image 7107& Quick Vision PRO Super (606)	温度范围: 17℃~23℃ 接触式三次元范围: 700*1000*700mm(W*D*H)； 非接触式三次元范围: 600*600*100mm(W*D*H)；
	3	电脑辅助验证(CAV)	件	1590	1590	NA	NA	蓝光拍照扫描仪	ATOS	ATOS II(5M) SO Triple Scan	温度范围：5℃~40℃,非冷凝 扫描精度： Probing error (max. sigma)≦0.005mm Sphere spacing error (max.)≦0.015mm Flatness measurement error (max. sigma)≦0.012mm
								手持式激光扫描仪	Creaform	HandySCAN 700	温度范围：0℃~40℃,非冷凝 扫描精度：0.02+0.00006*L(mm)
								手持式彩色扫描仪	Creaform	Go!SCAN 50	温度范围：0℃~40℃,非冷凝 扫描精度：0.0003*L(mm)
	4	表面粗糙度(接触式)	件	53	53	Y	ISO 4287/ISO 4288	粗糙度测量仪	Mitutoyo	SV-400	1）测量范围 A.X轴量程：50mm B.Z轴量程：600um 2）测量精度 A.测量较小分辨率：0.001um B.示值误差：<7%
Lab	序号	试验项目	计价单位	牌价(含税价)		是否CANS认可	测试标准	设备名称	品牌	型号	功能规格&能力范围
				基本金	单价
量测	5	逆向工程	个	1908	1908	NA	NA	蓝光拍照扫描仪	ATOS	ATOS II(5M) SO Triple Scan	温度范围：5℃~40℃,非冷凝 扫描精度： Probing error (max. sigma)≦0.005mm Sphere spacing error (max.)≦0.015mm Flatness measurement error (max. sigma)≦0.012mm
								手持式激光扫描仪	Creaform	HandySCAN 700	温度范围：0℃~40℃,非冷凝 扫描精度：0.02+0.00006*L(mm)
								手持式彩色扫描仪	Creaform	Go!SCAN 50	温度范围：0℃~40℃,非冷凝 扫描精度：0.0003*L(mm)
	6	3D微观表面形貌检测及分析(非接触式)	件	106	106	N	ASME B46.1/ISO 25178-2	3D光学轮廓仪	KLA-Tencor	MicroXAM 1200	1）测量范围 A.垂直扫描范围：1nm~5mm B.零件重量：<25kg 2）测量精度 A.垂直扫描分辨率：0.1nm B.重复性：VSI模式1nm，PSI模式0.05nm
	7	轴类零件形位公差检测(校准级)	件	32	32	Y	圆度：ISO 12181 圆柱度：ISO 12180 垂直直线度：ISO 12780 同轴度、同心度、跳动：ISO 1101	圆度仪	Taylor Hobson	Talyrond 265	1）测量范围 A.较大可测零件直径：350mm B.较大可测零件高度：300mm C.较大可测零件深度：165mm D.较大可测零件重量：50kg 2）测量精度 A.径向误差：+/-(0.02+0.003um/mm*工作台上方高度) B.轴向误差：0.06um
	8	齿轮双面啮合量测	件	100	20	N	ISO 1328/AGMA 2015-2-A06	齿轮双面啮合仪	OSAKA	GTR-4LS	1）测量范围 A.模数：0.2~1.0，中心距：11mm~130mm B.测力范围：+600g ~ -600g 2）测量精度 A.测量分辨率：0.1um B.测量重复性：<2um

精密测量技术 
一、背景研究 
随着社会的发展，普通机械加工的加工误差从过去的mm级向“m级发展，精密加工则从10 p,m级向炉级发展，**精密加工正在向nm级工艺发展。由此，制造业对精密测量仪器的需求越来越广泛，同时误差要求也越来越高。精密测量是精密加工中的重要组成部分，精密加工的误差要依靠测量准确度来保证。目前，对于测量误差已经由“m级向nm级提升，而且这种趋势一年比一年迅猛[1]。 
二、概述 
现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，它和精密**精密加工技术相辅相成，为精密**精密加工提供了评价和检测手段；精密**精密加工水平的提高又为精密测量提供了有力的仪器**。现代测量技术涉及广泛的学科领域，它的发展需要众多相关学科的支持，在现代工业制造技术和科学研究中，测量仪器具有精密化、集成化、智能化的发展趋势，作为下世纪的重点发展目标，各国在微/ 纳米测量技术领域开展了广泛的应用研究[1]。 
三、测量技术及应用特点 
3.1 扫描探针显微镜 
1981年美国IBM公司研制成功的扫描隧道显微镜(STM),将人们带到了微观世界。STM具有较高的空间分辨率（平行和垂直于表面的分辨率分别达到0.1nm和0.01nm,即可分辨出单个原子),广泛应用于表面科学、材料科学和生命科学等研究领域,在一定程度上推动了纳米技术的产生和发展。与此同时，基于STM相似
原理与结构,相继产生了一系列利用探针与样品的不同相互作用来探测表面或界面纳米尺度上表现出来性质的扫描探针显微镜(SPM)，用来获取通过STM无法获取的有关表面结构和性质的各种信息,成为人类认识微观世界的有力工具。下面介绍几种具有代表性的扫描探针显微镜。 
(1)原子力显微镜（AFM）:AFM利用微探针在样品表面划过时带动高敏感性的微悬臂梁随表面起伏而上下运动,通过光学方法或隧道电流检测出微悬臂梁的位移,实现探针尖端原子与表面原子间排斥力检测,从而得到表面形貌信息。利用类似AFM的工作原理,检测被测表面特性对受迫振动力敏元件产生的影响,在探针与表面10～100nm距离范围,可探测到样品表面存在的静电力、磁力、范德华力等作用力,相继开发磁力显微镜、静电力显微镜、摩擦力显微镜等,统称为扫描力显微镜。 
(2)光子扫描隧道显微镜(PSTM): PSTM的原理和工作方式与STM相似,后者利用电子隧道效应,而前者利用光子隧道效应探测样品表面附近被全内反射所激起的瞬衰场,其强度随距界面的距离成函数关系,获得表面结构信息。 
(3)其它显微镜:如扫描隧道电位仪(STP)可用来探测纳米尺度的电位变化;扫描离子电导显微镜(SICM)适用于进行生物学和电生理学研究;扫描热显微镜(STM)已经获得血红细胞的表面结构;弹道电子发射显微镜(BEEM)则是目**能够在纳米尺度上无损检测表面和界面结构的先进分析仪器,国内也已研制成功。 3.2 纳米测量的扫描Ｘ射线干涉技术 
以SPM为基础的观测技术只能给出纳米级分辨率,不能给出表面结构准确的纳米尺寸,是因为到目前为止缺少一种简便的纳米精度(0.10～0.01nm)尺寸测量的定标手段。美国NIST和德国PTB分别测得硅(220)晶体的晶面间距为192015.560±0.012fm和192015.902±0.019fm(飞米fm也叫费米,是长度单位,1fm相当于10～15m)。日本ＮＲＬＭ在恒温下对220晶间距进行稳定性测试,发现其18天的变化不**过0.1fm。实验充分说明单晶硅的晶面间距有较好的稳定性。扫描Ｘ射线干涉测量技术是微/纳米测量中一项新技术，它正是利用单晶硅的晶面间
激光干涉仪其光路在空气中进行了各种休整与补偿,其较高精度为8.5×10-8。由于这种测量方法对环境要求过高,对生产机床在时间加工中往往过于苛刻,很难加以保证。近年来光栅技术得到了很大发展,传统自成象原理(莫尔或反射原理)的光栅尺,其动、静尺之间的距离受到限制,其距离的允差约为塔耳波特周期(ｇ-8/λ)的10%，(ｇ为光栅周期，λ为光源波长)，例如，LED光源λ=900ｎｍ,光栅条纹间隔10μｍ,则动、静尺间隙距离允差也为10μｍ,这对光栅尺的安装及运动带来困难。目前,衍射扫描干涉光栅采取偏振元件相移原理或附加光栅像相移原理。例如德国Heidenhaiin公司采用三光栅系统原理和四光栅系统原理的光栅尺可达到很高的分辨率又有很好的可安装性。该公司的LIP382线性光栅尺,测量70mm长度,用真空中激光干涉仪进行测量较大误差不**过±0.1μｍ。这种光栅尺的光栅线周期为128nm,分辨率可达1nm,采用Zerodur材料制成几乎是零膨胀系数,动、静尺间隙为03.±0.1mm,安装和使用都很方便。上述2种测量一起,虽然精度高但价格过于昂贵。炫耀光栅是一种高精度,大范围的廉价测量仪器。炫耀光栅的定尺常刻成锯齿形条纹,如5mm×50mm,每厘米1000线,而定尺为普通光栅尺,光栅常数为20μｍ。炫耀光栅的分辨率仅取决于细光栅,因此比较*实现大范围、高精度的测量,是一种有前途廉价化的光栅测量方式。 3.5 **精密测量用电容测微仪 
电容测微仪的特点是非接触测量,精度高、价格低。但测量范围有限,测量稳定性和漂移常令人不满意。美国LionPrecision公司的电容测微仪分辨率可达0.5ｍｍ(1Hz频响),热漂移每度0.04%满量程。对于差频式电容测微仪而言，如何减少测头电缆对测量的影响是难题之一,“电缆驱动”技术可解决该问题。所研制的仪器采取集成化、小型化测量震荡器和本机震荡器的方法,将2个震荡器与测头做在一起,取消原来的测头电缆。这种测头的引出电缆送出的是经过混频后的脉冲信号,这对减少漂移,增加稳定性都有很好的效果。小型化后的测头可以方便地组成多传感器测量系统。如圆度的三传感器测量系统,直线度和平面度的四传感器测量系统。这些传感器可以对运动误差与被测工具形状误差进行分离,测得高精


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